2.业绩要求：自2021年1月1日至投标截止日止至少 1 个掩模130nm或更高技术节点缺陷检查设备销售案例（提供订单或合同）

3.联合体投标：不允许

4.代理商投标：允许，应出示有效证明，证明文件包括但不限于盖公章的代理授权书。

5.信誉要求：投标人不属于在“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）或各级信用信息共享平台中查明的失信被执行人。

投标人需在投标文件中提供在以上网站中的查询结果，查询结果应为网站自动生成的PDF报告电子版或网页版截图。

6.其他要求：1） 项目经理资格：5年以上成熟的掩模缺陷检查设备调试经验（提供5年以上该公司的工作证明）；

2） 提供会计事务所出具2022年完整的企业年度审计报告，且不能出现资不抵债的情况（复印件加盖公章），（境外公司提供类似文件，没有年度审计报告须提供财务报表盖章，财务报表含利润表、资产负债表、现金流表，一并提供文件对应中文或英文翻译）。

3） 在经营活动中没有对本招标项目履行有重大影响的违法记录及质量问题，在最近三年内没有严重违约，在最近三年内与华润微电子有限公司及其下属公司之间无不良合作记录或未在禁用期内的企业，在“企查查”中查询无招标人近三年离职员工担任股东或高管且与华润微电子有限公司及其下属公司无未决诉讼。